光學微電子行業(yè)凈化工程的基本要求
光學微電子行業(yè)凈化工程的基本要求
隨著科技的不斷發(fā)展,光學微電子行業(yè)在我國得到了迅速的發(fā)展。光學微電子產(chǎn)品廣泛應用于光通信、光顯示、光存儲等領域,其質(zhì)量直接影響到產(chǎn)品的性能和可靠性。為了確保光學微電子產(chǎn)品的生產(chǎn)環(huán)境達到高標準,凈化工程在光學微電子行業(yè)扮演著至關重要的角色。以下是光學微電子行業(yè)凈化工程的基本要求:
一、潔凈度要求
潔凈度等級:光學微電子行業(yè)凈化工程《潔凈室空氣調(diào)節(jié)用空氣過濾器》標準,根據(jù)不同生產(chǎn)環(huán)節(jié)的要求,選擇相應的潔凈度等級。通常,光學微電子行業(yè)潔凈度等級分為N1級至N10級。
潔凈度控制:通過高效空氣過濾器(HEPA)對送風進行處理,確保送風潔凈度達到要求。同時,對回風進行過濾,減少室內(nèi)塵埃顆粒的積累。
二、溫濕度控制
溫度:光學微電子行業(yè)凈化工程對溫度的要求較高,一般控制在20℃±2℃范圍內(nèi)。溫度波動過大會影響光學微電子產(chǎn)品的性能。
濕度:濕度控制在40%-60%之間,避免因濕度過高導致產(chǎn)品受潮或因濕度過低導致靜電積累。
三、氣流組織
氣流速度:光學微電子行業(yè)凈化工程中,氣流速度應控制在0.2-0.5m/s之間,以確保塵埃顆粒在氣流作用下被有效控制。
氣流方向:氣流方向應從潔凈度高的區(qū)域流向潔凈度低的區(qū)域,避免交叉污染。
四、防靜電措施
靜電防護材料:使用防靜電地板、防靜電工作臺等靜電防護材料,降低靜電產(chǎn)生。
靜電消除設備:安裝靜電消除器,及時消除靜電。
五、潔凈室裝修
裝修材料:選用符合環(huán)保標準的裝修材料,避免有害物質(zhì)釋放。
裝修工藝:采用無塵施工工藝,確保裝修過程中不產(chǎn)生塵埃。
六、設備選型與安裝
設備選型:根據(jù)生產(chǎn)需求,選擇合適的凈化設備,如高效空氣過濾器、風機、風管等。
設備安裝:嚴格按照設備說明書進行安裝,確保設備運行穩(wěn)定。
總之,光學微電子行業(yè)凈化工程的基本要求涵蓋了潔凈度、溫濕度、氣流組織、防靜電、裝修和設備選型與安裝等方面。只有滿足這些基本要求,才能確保光學微電子產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中的質(zhì)量,為我國光學微電子行業(yè)的發(fā)展提供有力保障。
無塵車間潔凈室裝置與規(guī)劃:
潔凈室選用不同的送風及回風體系的不同規(guī)劃是決議車間不同潔凈度等級的決議性要素。
1、標準組合式空調(diào)風柜+空氣過濾體系+潔凈室通風保溫管道+HEPA高效送風口+潔凈室回風管道體系。這種方式能不斷循環(huán)和補充新風進入潔凈室車間內(nèi),以達到出產(chǎn)環(huán)境所需的潔凈度。
2、潔凈室天花裝置FFU空氣凈化器直接往潔凈室送風+回風柱回風體系+吸頂式空調(diào)機制冷。這種方式一般用于環(huán)境潔凈度要求不是非常高的場合,而且成本相對低一些。
質(zhì)量要求
生產(chǎn)車間按生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品質(zhì)量要求,分為一般生產(chǎn)區(qū)、控制區(qū)和。設人員換鞋區(qū)、男女一、二次更衣室、洗手、手消毒、洗衣間、風淋通道、潔凈人流走廊、物流貨淋室,貨淋走道通道、注塑間、膠墊吹塵、中儲庫、組裝間、內(nèi)包裝間、外包裝間及機房、物流等。機房設在三樓天面原小房間中,需做隔音防震處理; 冷卻塔及冷卻泵置于三樓天面;設備運行負荷符合樓板承重要求。
流動方向
人員流動方向:換鞋、更衣、洗手、手消毒–風淋室–潔凈走廊–潔凈車間
在凈化車間及走廊設安全門, 便于人員疏散。
物品流動方向:物流通道——潔凈車間——–成品包裝凈化空調(diào)系統(tǒng)。