凈化廠房的制度與紀(jì)律標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)

裝修凈化廠房?jī)?nèi)的人是凈化廠房室內(nèi)污染的重要來(lái)源。凈化工程必須盡可能減少凈化廠房?jī)?nèi)人員活動(dòng)所造成和傳播的污染，以確保室內(nèi)潔凈度及降低維護(hù)費(fèi)用。制定凈化廠房的紀(jì)律，其目的就是使產(chǎn)品的污染風(fēng)險(xiǎn)降至最低。

凈化廠房的運(yùn)行管理人員在制定凈化廠房紀(jì)律時(shí)，首先，應(yīng)該對(duì)凈化廠房?jī)?nèi)工作的人員以及凈化廠房?jī)?nèi)部運(yùn)行工作人員，包括維修人員和服務(wù)人員的活動(dòng)，制定嚴(yán)格的紀(jì)律加以規(guī)范; 其次應(yīng)該注意的是，凈化廠房?jī)?nèi)所生產(chǎn)的產(chǎn)品對(duì)污染的敏感性是不同的，而為凈化廠房制定的紀(jì)律應(yīng)反映出這一點(diǎn)。

1.1嚴(yán)格控制進(jìn)入凈化廠房的人員
人在行走時(shí)，每分鐘可以產(chǎn)生約百萬(wàn)個(gè)粒徑≥0.5um。凈化廠房?jī)?nèi)人員越多，散發(fā)的粒子數(shù)量也越多。因此，管理人員應(yīng)盡量控制凈化廠房?jī)?nèi)人員數(shù)量，也就是說(shuō)僅允許必需的人員進(jìn)人凈化廠房。

此外，還要盡量減少凈化廠房的參觀者。由于參觀者沒(méi)有接受過(guò)凈化廠房工作培訓(xùn)，因此 只有在監(jiān)管人員的管理之下，才能進(jìn)入凈化廠房。理想的方案是為凈化廠房設(shè)計(jì)供參觀者使用的觀察窗，這樣參觀者就不一定非要進(jìn)入室內(nèi)，從而減少了造成 污染的概率。

1.1.1對(duì)凈化廠房工作人員的基本要求
凈化廠房的工作人員與一般場(chǎng)所的工作人員相比，應(yīng)該盡量減少人體散發(fā)的污染。凈化廠房運(yùn)行管理人員應(yīng)該制定詳細(xì)的要求，以期將室內(nèi)工作人員造成的污染控制在可接受的范圍內(nèi)。

對(duì)凈化廠房工作人員身體狀況的基本要求
凈化廠房工作人員應(yīng)保持身體健康，出現(xiàn)以下身體狀況的人員，可能產(chǎn)生大量的污染粒 子。因此，直至癥狀完全消除前，不宜進(jìn)入凈化廠房工作。

患有某些皮膚病
特別是皮炎、皮膚灼傷、頭皮屑過(guò)量等狀態(tài)時(shí)，因皮膚可能散布大量的皮細(xì)胞，而不 宜入凈化廠房工作。

患有呼吸系統(tǒng)疾病
例如感冒、慢性肺部疾病等，易造成過(guò)量咳嗽或打噴嚏而散發(fā)大量的飛沫，病愈前不 宜人凈化廠房工作。

過(guò)敏體質(zhì)的人員
過(guò)敏體質(zhì)人員容易有打噴嚏、搔癢、流鼻涕等癥狀，一般不適合在凈化廠房?jī)?nèi)工作。

可能攜帶某些微生物、病菌的人員
在生物凈化廠房中，有時(shí)必須將人員與產(chǎn)品隔離開(kāi)，以防止人員可能攜帶的微生物病菌 在產(chǎn)品上滋長(zhǎng)，從而損害產(chǎn)品或造成疾病。這些人員對(duì)其所從事的工作是否合適的問(wèn)題， 應(yīng)連同產(chǎn)品對(duì)某種具體類(lèi)型的微生物在其上生長(zhǎng)的敏感性一道予以考慮。

對(duì)凈化廠房工作人員衛(wèi)生習(xí)慣的基本要求
凈化廠房工作人員應(yīng)保持良好的個(gè)人生活與衛(wèi)生習(xí)慣，不良習(xí)慣同樣會(huì)造成凈化廠房潛在 的污染源，下列衛(wèi)生習(xí)慣要求凈化廠房工作人員在日常生活中予以關(guān)注。

人員應(yīng)有良好的個(gè)人衛(wèi)生習(xí)慣
要定期洗澡，清除頭皮屑。每次理發(fā)后要洗頭，防止頭發(fā)屑落在產(chǎn)品上。皮膚干燥的 人，應(yīng)使用護(hù)膚霜代替護(hù)膚油滋潤(rùn)皮膚，以減少皮屑散發(fā)。

—般不允許進(jìn)入凈化廠房工作時(shí)使用化妝品
各類(lèi)化妝品、爽身粉、護(hù)發(fā)用品、頭發(fā)定型膠、指甲油等都不宜使用。凈化廠房通常將 人體上的所有外來(lái)物都視為污染物?；瘖y品會(huì)對(duì)凈化廠房造成污染，因?yàn)槭褂没瘖y品時(shí)都會(huì)在皮膚上沉積大量的粒子（≥0.5um粒子數(shù)達(dá)109個(gè)），其中的一些粒子可能會(huì)釋放到凈化廠房中。

—般不允許在凈化廠房中使用手表及首飾，如耳環(huán)、項(xiàng)鏈、手鏈、戒指等
如果使用首飾，必須將首飾置于服裝和手套之內(nèi)。戒指底下可能是藏污納垢之處。而有的人員可能出于情感上的原因，不愿取下結(jié)婚戒指或定婚戒指。如果能將戒指及戒 指下面的皮膚洗凈，也可允許戴著戒指。但戒指上可能刺破手套的地方，要用膠帶裹住為妥。

進(jìn)入凈化廠房前幾小時(shí)內(nèi)不宜吸煙
吸煙者的口中可比一般的人釋放出更多的粒子，他們的身體也會(huì)釋放出某些化學(xué)氣 體。所以有些凈化廠房要求人員在進(jìn)人凈化廠房前幾個(gè)小時(shí)禁止吸煙。

3.對(duì)凈化廠房工作人員攜帶私人物品的限制
總的原則是非生產(chǎn)所需的任何物品，不得帶人凈化廠房?jī)?nèi)。具體規(guī)章可由凈化廠房的管理 人員依據(jù)何種物品會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成污染來(lái)決定。一般來(lái)說(shuō)，下述物品應(yīng)禁止帶入凈化廠房?jī)?nèi): 食品、酒、糖果、口香糖；罐裝或瓶裝飲料；煙、火柴、打火機(jī)；自用的藥品、藥水、藥 膏；收音機(jī)、唱盤(pán)播放機(jī)、袖珍磁帶機(jī)、手機(jī)、呼機(jī)；報(bào)紙、雜志、書(shū)籍、手帕、面巾 紙；鉛筆、橡皮、鋼筆；錢(qián)幣、錢(qián)夾、化妝品、手袋等。

1.1.2對(duì)凈化廠房維修人員和服務(wù)人員的基本要求
進(jìn)入凈化廠房維修設(shè)備或提供服務(wù)的人員，同樣可能因缺乏培訓(xùn)和監(jiān)督，而對(duì)凈化廠房環(huán)境造成污染。如果對(duì)維修技術(shù)人員事先未作說(shuō)明，他們就可能會(huì)采用與凈化廠房外使用的同樣維修方法維修設(shè)備，其后果可能是嚴(yán)重的。來(lái)自外面公司的服務(wù)人員，可能未受過(guò)凈化廠房污染控制方法的任何培訓(xùn)。為此下面列出了進(jìn)入凈化廠房的維修人員和服務(wù)人員應(yīng)當(dāng)了解的一系列相關(guān)規(guī)章：

獲得許可方能進(jìn)入
維修人員和服務(wù)人員只有在得到凈化廠房管理人員的許可后，才可進(jìn)人凈化廠房。

培訓(xùn)與監(jiān)督
維修人員和服務(wù)人員應(yīng)受過(guò)凈化廠房技術(shù)的培訓(xùn)，此外，在凈化廠房他們的工作宜處在凈化廠房管理人員嚴(yán)密的監(jiān)督之下，進(jìn)出凈化廠房的時(shí)間及工作情況等，應(yīng)記錄備案。

穿著潔凈服
維修人員和服務(wù)人員必須穿著與凈化廠房T作人員同樣或效率相當(dāng)?shù)臐崈舴?。?dāng)他們進(jìn)出凈化廠房時(shí)，應(yīng)與凈化廠房工作人員采用相同的方式更衣。無(wú)論是周末或其他歇班時(shí)間，不穿著潔凈服絕不允許進(jìn)入凈化廠房。維修人員和服務(wù)人員進(jìn)入凈化廠房前一定要脫下其原來(lái)的工作服，更換潔凈服前要認(rèn)真洗手。

凈化廠房專(zhuān)用工具
凈化廠房維修用的工具僅供凈化廠房?jī)?nèi)使用，要保持潔凈。若維修人員和服務(wù)人員或者外單位的承包商，需要將其必須的工具帶入凈化廠房時(shí)，這些工具應(yīng)經(jīng)過(guò)清潔，方可帶入凈化廠房。

文字、圖紙等資料的進(jìn)入
書(shū)寫(xiě)在非凈化廠房專(zhuān)用紙上的文字或圖紙等資料不得帶入凈化廠房?jī)?nèi)?？蓪⑵鋸?fù)印在潔凈 室專(zhuān)用紙上，或者覆以塑料膜，或者放人凈化廠房專(zhuān)用塑料袋中方可帶人凈化廠房。

產(chǎn)塵作業(yè)需隔離
一些產(chǎn)生粒子的作業(yè)，如鉆洞、修理頂棚和地面，應(yīng)與凈化廠房的其余部分采取相應(yīng)措 施隔離開(kāi)。同時(shí)，宜采用局部排風(fēng)或真空吸塵器，清除所產(chǎn)生的粒子。

維修工作后的清掃
維修人員和服務(wù)人員在工作完成后必須按凈化廠房要求清理現(xiàn)場(chǎng)，并確保由具有專(zhuān)業(yè)知 識(shí)的人員將該區(qū)域按“凈化廠房清潔方式”進(jìn)行清潔，清掃時(shí)只能使用經(jīng)審定可用于凈化廠房 的清潔劑、清潔材料和清潔設(shè)備。

1.2凈化廠房?jī)?nèi)需遵守的紀(jì)律
為保證產(chǎn)品不受污染，凈化廠房?jī)?nèi)的工作人員必須遵守相關(guān)的行為準(zhǔn)則。凈化廠房管理人 員必須制定一套與其凈化廠房產(chǎn)品要求相適應(yīng)的規(guī)章制度，在人員培訓(xùn)中，予以宣講公布。并將這些規(guī)章制度張貼在更衣區(qū)或生產(chǎn)區(qū)。以下給出了一般采用的規(guī)章制度宜于包括的內(nèi)容。

1. 2.1防止沿通道逆向氣流增加污染
為防止空氣不會(huì)從高污染區(qū)向低污染區(qū)，由凈化廠房外走廊向生產(chǎn)車(chē)間逆向流動(dòng)，工作 人員應(yīng)遵守以下紀(jì)律：

1.人員必須經(jīng)過(guò)更衣區(qū)進(jìn)出凈化廠房
更衣區(qū)不僅是用于更衣的，它也是外部的污染走廊與潔凈生產(chǎn)區(qū)之間的緩沖區(qū)。除非 特殊情況，工作人員不得使用生產(chǎn)區(qū)與走廊間的緊急出口等直接出口，因?yàn)檫@會(huì)使污染直接進(jìn)人生產(chǎn)區(qū)，同時(shí)他們的服裝也會(huì)因此受到污染。

2.凈化廠房所有的門(mén)應(yīng)關(guān)閉（除保持正壓外）門(mén)若敞開(kāi)時(shí)，兩個(gè)毗鄰區(qū)域間的空氣會(huì)由于紊流及區(qū)域溫差產(chǎn)生逆向流動(dòng)。

3.手動(dòng)關(guān)門(mén)、開(kāi)門(mén)的動(dòng)作要慢
如果快速開(kāi)、關(guān)門(mén)，空氣會(huì)因門(mén)扇轉(zhuǎn)動(dòng)偏快使誘導(dǎo)作用增強(qiáng)，造成空氣向凈化廠房?jī)?nèi)逆向流動(dòng)。
對(duì)于正壓凈化廠房，門(mén)一般是向里開(kāi)，即向生產(chǎn)間開(kāi)。室內(nèi)較高的空氣壓力使門(mén)關(guān)閉較嚴(yán)密。有些為了使手上持有物品的人員出門(mén)方便而向外開(kāi)，門(mén)上應(yīng)安裝關(guān)門(mén)器，使門(mén)平時(shí)處于關(guān)閉狀態(tài)，且開(kāi)關(guān)門(mén)時(shí)關(guān)門(mén)器應(yīng)控制門(mén)緩慢轉(zhuǎn)動(dòng)以減少誘導(dǎo)作用所產(chǎn)生的空氣逆向流動(dòng)。外開(kāi)的門(mén)一般不帶把手，有助于避免手套造成的污染。

4.穿過(guò)氣閘室的注意點(diǎn)（風(fēng)淋室）應(yīng)確保在第一道門(mén)已關(guān)閉時(shí)再通過(guò)第二道門(mén)?？墒褂弥甘緹?，顯示門(mén)是否處在關(guān)閉狀 態(tài)。通常兩邊門(mén)采用電子聯(lián)鎖裝置即可實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)。傳遞窗的用法與此相似。但要注意的是，當(dāng)發(fā)生火災(zāi)時(shí)，必須保證氣閘室不會(huì)因此產(chǎn)生危險(xiǎn)。換句話(huà)說(shuō)，出現(xiàn)火警時(shí)，氣閘室門(mén)禁電子聯(lián)鎖應(yīng)解除。
1.2.2防止工作人員在凈化廠房?jī)?nèi)的不當(dāng)動(dòng)作增加污染為保證人員的動(dòng)作不會(huì)在凈化廠房?jī)?nèi)造成過(guò)多的污染，應(yīng)考慮下面的相關(guān)建議：

1.工作人員不允許有不當(dāng)行為人員污染物的產(chǎn)生量與活動(dòng)量成正比。根據(jù)美國(guó)著名潔凈技術(shù)先驅(qū)Austin. P. R. 1965 年發(fā)表在美國(guó)污染控制協(xié)會(huì)（AACC)的污染索引（Contamination Index)的測(cè)試數(shù)據(jù)，人 員身著潔凈服不同動(dòng)作時(shí)的產(chǎn)塵量如表1-1所列。從表中可知，人靜止不動(dòng)時(shí)，每分鐘產(chǎn)生的大于等于0.3um的粒子約為10萬(wàn)個(gè)；人在活動(dòng)時(shí)身體、頭、肩膀等每分鐘可產(chǎn)生大 于等于0.3um的粒子約為1百萬(wàn)個(gè)；人的走動(dòng)速度為3.6km/h時(shí)，每分鐘產(chǎn)生的大于等于0.3um的粒子約為5百萬(wàn)個(gè)。因此，要求凈化廠房所有人員不要“輕舉妄動(dòng)”，任何移動(dòng) 都應(yīng)慎重，并按規(guī)定進(jìn)行，不允許過(guò)多無(wú)用的動(dòng)作。

操作人員要正確站位:
人員相對(duì)產(chǎn)品而言，應(yīng)處在正確的位置上，這樣才不致污染物落在產(chǎn)品上。不應(yīng)傾身在產(chǎn)品上方，否則從其身上散落的粒子、纖維或帶有微生物的粒子就會(huì)掉在產(chǎn)品上。

移動(dòng)或拿起產(chǎn)品的方法:
必須事先考慮好如何移動(dòng)或拿起產(chǎn)品。為防止戴有手套的手污染產(chǎn)品，建議采用“無(wú)接觸”方式拿起產(chǎn)品。雖然在凈化廠房中人員戴有手套，污染會(huì)少些，但它仍然可能成為污染源。在線(xiàn)寬較大，尚可允許較低的成品率時(shí)，這種方法仍在使用?！盁o(wú)接觸”方式的一 個(gè)例子就是使用長(zhǎng)夾子移動(dòng)材料，這樣就避免了用手拿材料造成的污染，人員不應(yīng)靠身體來(lái)搬運(yùn)材料

盡管人員穿著的潔凈服比普通服裝或工作服潔凈得多，但服裝上仍然存在粒子、纖維并且有可能因不當(dāng)操作轉(zhuǎn)移到所搬運(yùn)的物品上。因此操作人員同時(shí)應(yīng)注意防止讓任何物品在產(chǎn)品的上方拖過(guò)。

人員不宜觸摸、倚靠?jī)艋瘡S房的任何表面:
盡管凈化廠房的表面比室外要潔凈得多，但在室內(nèi)設(shè)備的表面上，仍會(huì)存留有粒子、纖 維及細(xì)菌。如果人員從這些表面上粘上污染物，這些污染物就可能傳到產(chǎn)品上。在凈化廠房 內(nèi)無(wú)需用手時(shí)，宜兩手抓緊置于身前，有助于防止手部不經(jīng)意地觸摸凈化廠房設(shè)備表面。

人員在工作時(shí)不應(yīng)說(shuō)話(huà):
說(shuō)話(huà)、咳嗽、打噴嚏等都會(huì)使唾液從口罩與皮膚的縫隙處噴出而污染產(chǎn)品。在咳嗽或 打噴嚏時(shí)，必須將頭從產(chǎn)品處移開(kāi)。打噴嚏后一般都要更換口罩?？谡忠欢ㄒ衷诒亲由隙坏迷诒窍?，因?yàn)榇謿鈺r(shí)大粒子會(huì)從鼻內(nèi)釋放出來(lái)。

私人手帕不能帶入凈化廠房?jī)?nèi):
私人手帕顯然是污染源，它可以把粒子（包括帶有微生物的粒子）帶人空氣中，粘在手套上。在凈化廠房?jī)?nèi)也不能擤鼻子，擤鼻子可以在更衣區(qū)進(jìn)行，事后一定要更換手套。工作人員在凈化廠房?jī)?nèi)還應(yīng)避免接觸自身皮膚，搔癢、擦拭任何部位的皮膚，都屬不妥行為。

1.2.3防止凈化廠房?jī)?nèi)材料使用不當(dāng)而增加污染;

有關(guān)凈化廠房?jī)?nèi)使用材料的建議如下：
1.在凈化廠房中應(yīng)使用污染程度低的抹布
選擇使用哪種形式的抹布，由凈化廠房的維護(hù)費(fèi)用預(yù)算和凈化廠房生產(chǎn)什么產(chǎn)品來(lái)決定。 并且還必須確定抹布丟棄前可以重復(fù)使用的次數(shù)。

凈化廠房之間應(yīng)盡可能減少材料的移動(dòng):
每次將產(chǎn)品帶出凈化廠房，它就有可能在潔凈度較差的區(qū)域受到污染。而當(dāng)它再度進(jìn)入凈化廠房時(shí)，就會(huì)將這種污染帶入室內(nèi)。最好將產(chǎn)品儲(chǔ)存在凈化廠房一個(gè)合適的潔凈區(qū)域內(nèi)，或儲(chǔ)存在毗鄰的潔凈區(qū)。

防止加工品被污染:
在生產(chǎn)階段，人們一般非常注意不使產(chǎn)品受到污染。而產(chǎn)品一旦完成某工序后，往 在凈化廠房?jī)?nèi)容易被遺忘，灰塵就會(huì)在產(chǎn)品上聚集。因此，易受污染的產(chǎn)品要置于密封柜中，或容器內(nèi)，或單向流工作臺(tái)內(nèi)，或隔離裝置內(nèi)。如果凈化廠房為單向流凈化廠房，可以使用氣流能夠穿過(guò)其間的儲(chǔ)物架放置產(chǎn)品。此外，不得將材料置于地板上。

廢棄物的處理:
要經(jīng)常將廢棄物收集起來(lái)放人易于識(shí)別的容器內(nèi)，并移出凈化廠房。

保持凈化廠房整潔:
要采用正確的方法清掃凈化廠房，或在需要時(shí)對(duì)凈化廠房進(jìn)行消毒，要保持凈化廠房?jī)?nèi)整齊有序。必須使用合乎要求的清潔工具，才能保證清潔效果。

凈化廠房在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。凈化廠房所特別設(shè)計(jì)的房間，不論外在空氣條件如何變化，室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。這比用紊流來(lái)描述亂流潔凈室更確切、更全面。紊流主要決定于雷諾數(shù)，潔凈房也就是主要受流速的影響，但是如果采用一個(gè)高效過(guò)濾器頂送的送風(fēng)形式，則即使流速極低，也要產(chǎn)生上述各種結(jié)果，這就因?yàn)樗且粋€(gè)突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動(dòng)而發(fā)生的摻混，而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。

具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，潔凈房但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，潔凈房特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。