無塵室常用名詞介紹(潔凈室潔凈度,無塵凈化工程)

1、無塵室定義：無塵室是一個(gè)為了對(duì)空間內(nèi)空氣中的微粒做控制，所建造的特殊封閉性建筑。一般而言，無塵室也會(huì)對(duì)溫濕度、氣流運(yùn)動(dòng)模式、與震動(dòng)噪音等環(huán)境因素做控制。
2、微?？刂疲簾o塵室微粒控制的第一步，是把室內(nèi)微粒對(duì)制程影響的程度做完整分析，然后針對(duì)分析結(jié)果，訂定恰當(dāng)?shù)奈⒘？刂品绞脚c無塵室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影響分析時(shí)，必須特別注意數(shù)據(jù)的量化，也就是粒徑與其數(shù)量對(duì)制程的影響，才是有用的數(shù)據(jù)。
3、外來污染源：從無塵室外進(jìn)入系統(tǒng)的污染源，外來污染源主要是由空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)所導(dǎo)入，另外門、窗、墻壁裂縫等也是外來污染源的成因。
4、內(nèi)部污染源：無塵室內(nèi)部產(chǎn)生污染的來源，一般是制程機(jī)器與操作員工，最嚴(yán)重的內(nèi)部污染源一般是操作員工。
5、隔離：隔離是污染控制的一種觀念，也就是讓污染源隔絕在無塵區(qū)域之外。這種觀念多應(yīng)用在高潔凈度的無塵環(huán)境，例如Class100，Class10，Class1等高濾網(wǎng)覆蓋率的無塵室，或是使用迷你潔凈室將機(jī)臺(tái)整個(gè)包住。
6、稀釋：稀釋是污染控制的另一種觀念，多應(yīng)用在潔凈度不高的無塵室。例如在Class10000的無塵室，因?yàn)閾Q氣量不大，制程與人員產(chǎn)生的粒子就會(huì)在室內(nèi)打轉(zhuǎn)，要比較常的時(shí)間才會(huì)排出。因此新的干凈空氣只能稀釋室內(nèi)的微粒濃度，讓室內(nèi)潔凈度控制在某一等級(jí)之下就可以了，部要求把人員與制程隔開。使用稀釋法作為?？刂茣r(shí)，要特別注意本節(jié)第二條微粒影響分析的正確性，能掌握微粒的產(chǎn)生速率，才能有效的稀釋微粒。
7、氣流模式：指的是流場(chǎng)型態(tài)，氣流分布，氣流的流向等性質(zhì)。由于微粒的移除完全掌握在氣流的模式，因此愈潔凈的無塵室或是無塵區(qū)域，對(duì)氣流模式的掌控就愈重視。基本上要先掌握氣流模式，才能掌握潔凈度。
8、單一流向型氣流：氣流以同一個(gè)方向移動(dòng)，這種無塵室稱為單一流向型無塵室，以前稱為層流型無塵室，定義并無多大改變。高潔凈度無塵室需要單一流向型氣流。
9、非單一流向型氣流：氣流方向不受控制，就是所謂的亂流型無塵室，潔凈度較低的無塵室都是用非單一流向型氣流以節(jié)省成本。
10、As-built cleanroom（剛完工的無塵室）:已經(jīng)完成且可以操作，所有相關(guān)支持設(shè)施皆已完成的潔凈室，但并沒有設(shè)備及操作設(shè)備的人員。
11、At-rest cleanroom（準(zhǔn)備中的無塵室）:已經(jīng)完成且可以操作，所有相關(guān)支持設(shè)施皆已動(dòng)作的無塵室，設(shè)備已加載并可以操作或已在運(yùn)轉(zhuǎn)，1如所指定，但沒有操作設(shè)備的人員。
12、Operational cleanroom（操作中的無塵室設(shè)施）：一個(gè)已在正常運(yùn)轉(zhuǎn)的無塵室，所有相關(guān)支持設(shè)施皆已動(dòng)作，設(shè)備及人員皆已加載，運(yùn)轉(zhuǎn)狀況可以呈現(xiàn)和達(dá)到其正常的功能。

無塵工程檢測(cè)是許多行業(yè)均需要應(yīng)用的領(lǐng)域，許多產(chǎn)品在高潔凈度的潔凈室生產(chǎn)線完成組裝或者半成品時(shí)都需要進(jìn)行QC檢測(cè)，為了避免產(chǎn)品在檢測(cè)環(huán)節(jié)受到二次污染，QC檢測(cè)工作就必須在無塵室之中進(jìn)行。常見的應(yīng)用行業(yè)有電子、液晶顯示屏、電腦配件、制藥、生物制品、食品、飲料等要求較高的行業(yè)。

無塵檢測(cè)室與普通傳統(tǒng)潔凈室有何區(qū)別?檢測(cè)功能室與普通傳統(tǒng)潔凈室沒什么區(qū)別，但是需要根據(jù)每個(gè)行業(yè)產(chǎn)品的特性不同而采用不同類型的潔凈室系統(tǒng)工作。在生物制品、制藥、食品、飲料制造業(yè)，常用的是生物潔凈室。而電子、精密儀器制造等電子工業(yè)類產(chǎn)品則對(duì)環(huán)境溫濕度要求較為嚴(yán)格，我們一般采用工業(yè)潔凈室的類型。

無塵凈化工程的建造主要用于控制產(chǎn)品所接觸的大氣潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例，無塵室級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。

無塵室每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)無塵室。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別無塵室。